微光机械论文

硅基聚合物微光机械振动传感器的研究
论文摘要本论文首次提出、设计并研制出了一种硅基聚合物微光机械传感结构的振动/加速度传感器,论述了新型传感结构的优点及先进性。从理论上对传感器微光机械悬臂梁的力学特性,受迫振动状...