微光学集成论文

微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究
论文摘要微加速度传感器是军械、车辆、船舶等抗冲击、抗振动测量,地震监测,惯性导航与制导系统的重要传感器,特别是微型10-6-10-9g量级的高精度加速度传感器更是先进军事与国防...