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NiTi/ZnO复合智能薄膜的制备及性能研究
论文摘要本文在全面总结智能材料的研究现状和未来发展趋势的基础上,利用射频磁控溅射法制备NiTi/ZnO复合薄膜,并利用XRD、SEM、EDS、DMA、台阶仪、纳米压痕仪、划痕仪...