微加工工艺论文

基于SOI技术的MEMS惯性加速度计的设计与优化
论文摘要MEMS（微机电系统,MicroElectroMechanicalSystem）惯性加速度计是微惯性测量组合（MIMU,MicroInertialMeasurement...
微三维可动机构的制作研究
论文摘要随着MEMS技术飞速发展,集成机械、电子、光学和生物功能的三维微器件或微机构得到了众多研究者的重视。三维微器件或机构可以广泛地用作传感器、执行器等,可以进行控制或能量传...
MEMS探卡的设计及制备工艺研究
论文摘要晶圆级IC测试在经济生产中是非常必要的,通过早期放弃有缺陷的元件部分,可以避免不必要的封装成本,同时,晶圆测试数据还提供了早期整体制造过程状况的反馈,以便及早检测到偏差...