微加速度传感结构论文

量子阱薄膜结构的机电特性实验研究
论文摘要论文“量子阱薄膜结构的机电特性实验研究”主要是通过实验研究力学信号影响或引起超晶格薄膜材料构成的量子器件的隧穿电流信号的变化,并对由量子阱薄膜加工形成典型的微腔,桥,梁...