![五阶低噪声ΣΔ加速度计接口电路设计]()
论文摘要微加速度计被广泛应用于汽车工业、医疗器械行业与航空宇航等领域。通过将电容式微加速度计引入ΣΔ闭环系统中,可以直接获得加速度信号的数字输出。正是由于这一优势,ΣΔ加速度计...
![支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究]()
论文摘要基于静电驱动与检测技术的力平衡式微加速度计具有线性度好、动态范围大、灵敏度高和可靠性强等优点。由于微加工工艺的不完善,微加速度计的实际参数与设计参数之间总是存在误差,比...
![一种新型硅微加速度计的设计与制造工艺研究]()
论文摘要微加速度计是惯性导航系统中最重要的惯性器件之一,其精度水平直接影响和决定导航和制导的精度。在众多种类的加速度计中,电容式加速度计由于具有高灵敏度、较好的噪声特性、低漂移...
![微加速度计电路的集成设计研究]()
论文摘要本文主要对微加速度计的信号检测电路进行了研究,并对电路模块进行了底层的分析和设计。主要研究和完成了以下几个方面的内容;（1）通过对微机电（MEMS）专用设计软件的学习和...
![程壑：基于硅纳米线检测的微加速度计设计与噪声分析论文]()
本文主要研究内容作者程壑,王宾,蒋孝勇,李孟委,唐军（2019）在《基于硅纳米线检测的微加速度计设计与噪声分析》一文中研究指出：利用硅纳米线压阻系数比压敏电阻压阻系数高的特性,...
![薛彦辉：基于SolidWorks软件仿真设计的微加速度计翻滚实验平台论文]()
本文主要研究内容作者薛彦辉（2019）在《基于SolidWorks软件仿真设计的微加速度计翻滚实验平台》一文中研究指出：针对常见微加速度计重力场翻滚实验平台无法进行批量标定,且其设计中机械本体结构存在技术障碍等问题,本文基于SolidWorks软件设计了一种可同时标定多只微加速度传感器,且能实现传感...
