微机电开关论文

高隔离度射频微机电开关的研究
论文摘要微机电系统(MEMS)是国际上近二十年来新兴的一项热门技术。射频微机械系统(RFMEMS)是目前MEMS期间研究的一个热点,并将对射频/微波技术产生重大的影响。一方面,...