![基于AFM探针的电晕放电初步研究]()
论文摘要信息获取技术尤其是获取微纳结构互相套准的物理特性和化学信息对于探索微观世界的奥秘具有十分重要的意义,本文在比较了国内外有关原位准同步检测材料微纳结构物化特性的方法后,介...
![考虑漏电场的扭转式微执行器Pull-in机理分析]()
论文摘要微型化始终是当代科学技术发展的重要方向。随着微电子技术的发展,基于MEMS（微机械系统）技术的微传感器、微执行器得到了快速发展,在其各种驱动方式中,静电驱动占有重要地位...
![径向磁化的永磁振动发电机的结构设计与样机制作]()
论文摘要进入21世纪,“能源、环境、发展”是新世纪人类所面临的三大主题。这三者之中,能源的合理开发与利用将直接影响到环境的保护和人类社会的可持续发展。随着科技的发展、社会的进步...
![考虑漏电容的平板式微执行器Pull-in机理分析]()
论文摘要基于MEMS（微机电系统）技术的微传感器、微执行器得到了快速发展,在其各种驱动方式中,静电驱动占有重要地位。Pull-in现象是静电驱动的微执行器的一个重要现象,已经引...
![微机电引信安全与解除保险装置结构设计]()
论文摘要针对前期设计中存在的不足,如中间滑块的横向偏移,结构整体尺寸偏大,传爆序列不能正常传爆,不能直接利用后坐力、离心力等环境力解除保险等,对前期隔爆机构的关键结构,如中间滑...
![基于TSV的MEMS圆片级真空封装关键技术的研究]()
论文摘要微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)是将微机械元件、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路等集成于一体的微系统。很多ME...
![窄带红外光源设计与制备]()
论文摘要近年来，随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展和进步，传感元器件发展也出现了小型化、低功率、低成本的趋势。MEMS红外光源应运而生，且成为红外气体传感器技术研究的重点...
![基于MEMS技术的可调谐光滤波器]()
论文摘要可调谐光滤波器是现代光通信系统和传感领域中的重要元器件,研究和开发体积小、成本低、响应速度快、调谐范围宽以及偏振不敏感的可调谐光滤波器成为必然趋势。本文提出了一种基于微...
![基于电热驱动的MEMS继电器的研制]()
论文摘要微电子机械系统(MEMS)是微电子、微驱动器、多数情况下还包括微传感器的集成化系统,是微电子技术与机械、光学等领域交叉融合而产生的一项新技术。MEMS及相关技术使得光、...
![压头曲率半径对单晶硅和氮化碳薄膜径向纳动损伤的影响]()
论文摘要单晶硅是微机电系统（MEMS）的主要结构材料,氮化碳薄膜（α-CNx）和DLC薄膜具有良好的机械性能,作为防护层薄膜已被广泛用于微机电系统。径向纳动广泛存在于MEMS中...
![新型电热微驱动器的研究]()
论文摘要随着电子产品的小型化和系统功能的集成化,微型驱动器获得了巨大的市场潜力并拥有广阔的应用前景。众多微驱动器中,电热微驱动器具有体积小、结构相对简单、加工工艺稳定以及成本低...
![振动式微机械陀螺数字信号处理系统及其实现]()
论文摘要MEMS陀螺是一种测量角速度的惯性传感器,以其体积小、重量轻、成本低等优点在很多领域得到了应用。随着MEMS技术的不断发展,对于微机械陀螺的性能要求也在不断提高。陀螺外...
![基于ARM的航姿参考系统研究]()
论文摘要在民用领域的电子玩具、三维仿真、运动检测、机器人、VR游戏等方面,都急需一种低成本小型化航姿参考系统,而传统的航姿参考系统由于价格高、体积大的原因限制了在这些方面的应用...
![MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究]()
论文摘要便携式产品的小型化促使其中的电源管理芯片如DC/DC变换器向着微型化方向发展,同时为了提高电路性能如降低电感电流纹波、提高最大负载电流,提高整个系统转换效率等等使得在不...
![应用于MEMS通讯继电器的双稳态微电磁驱动器的研究]()
论文摘要继电器是一种常用的基本机电元件,在航空航天领域、计算机、通讯等领域中起着十分重要的作用。通讯继电器是继电器主要应用方向之一,其产值大约占整个继电器产业的四分之一,并且是...
![非接触式微量生物试剂分配技术及系统研究]()
论文摘要微量生物试剂快速、精确的分配操作,是蛋白质结晶操作、新药研制、基因测序、生物化学实验等生物工程技术领域不可或缺的实验手段。特别是随着高通量筛选技术的发展和进步,实验中需...
![MEMS光开关的建模与仿真]()
论文摘要随着互联网的发展,对传输速度与带宽提出了更高的要求,传统的机械光开关难以适应高速、大容量光传送网发展的需求,新型的以MEMS为基础的微机械光开关以其具有体积小、易于集成...
![基于降阶宏模型的MEMS系统级仿真平台研究]()
论文摘要随着MEMS产业从单个的MEMS器件向MEMS系统的转移以及集成制造工艺及测试方法的深入研究,要求MEMSCAD能够对MEMS整体行为进行快速建模和仿真分析,而结构化设...
![基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统建模及其实施技术研究]()
论文摘要随着电子元器件集成度的不断提高,微电子系统的热控制问题越来越严重,成为急需解决的难题之一。本文在分析传统的冷却方法的基础上提出了基于MEMS的微介电液滴冲击系统,并对该...
![基于表面张力作用的MEMS自组装及其精度控制技术研究]()
论文摘要微机电系统(MEMS)是多种学科前沿技术的交叉综合,其发展受到微细加工、微装配技术、材料科学和封装可靠性等诸多因素的影响。微细加工技术加工出来的微构件一般要通过装配才能...
