![基于MEMS技术的硅微神经电极阵列的设计与制造]()
论文摘要随着神经生理学和微机电系统技术（microelectronicmechanicalsystem,MEMS）的发展,生物医学用检测仪器的微型化使其研究的范围已达到了细胞和...
![基于MEMS非制冷红外成像系统图像处理设计]()
论文摘要近年来红外成像技术在军事、科研、工农业生产、医疗卫生等领域的应用越来越广泛。特别是非制冷红外探测器以其高性能,高可靠性和低成本,体积小,重量轻,功耗低,易于设计便携式热...
![MEMS热辐射红外光源的研究]()
论文摘要红外气体传感器利用气体的特征吸收光谱进行特定气体的探测和浓度测量,具有优越的选择性、灵敏度和稳定性,已得到广泛应用。然而常规的红外气敏传感器体积较大,难以实现微型化、智...
![基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测]()
论文摘要接触式电容压力传感器(TMCPS)与其它类型压敏器件相比有着明显的优点,例如较好的线性,高的灵敏度和大的过载保护能力等。它在工业生产、医疗卫生、军事及科学研究等众多领域...
![微推进器结构与制作工艺研究]()
论文摘要微推进器是一种基于MEMS技术的新型微推进系统,主要用于微小型航天器的位置保持、姿态控制、轨道调整等。论文从结构设计、工艺研究和性能测试三方面介绍了MEMS微化学推进器...
![基于ARM的微惯性姿态测量系统的硬件设计]()
论文摘要本文结合国防某预研项目开展了微惯性姿态测量系统硬件部分的设计与研究工作。本文基于系统功能要求,提出了基于微电子系统、捷联惯导技术和嵌入式技术的姿态测量系统的总体技术方案...
![毫米波MEMS天线研究]()
论文摘要近几年来,随着智能手机等无线终端设备的普及,人们对无线通讯也提出了更高的要求,如:功耗低、传输速度快、体积小等。在集成电路线宽向着65nm发展的今天,大部分射频电子元器...
![基于双稳态特性的加速度开关研究]()
论文摘要加速度开关作为一种集传感及执行于一体的惯性器件,不仅能够感知加速度信号,而且受控于加速度阈值来执行开关动作。工程中对其性能提出多种指标要求,如阈值准确、响应快、大接触力...
![MEMS晶体薄膜构件热学性质的晶格动力学研究]()
论文摘要由于尺寸效应和表面效应,MEMS构件的热学性质异于大块晶体,研究它们的热学性质对于MEMS的正确设计和可靠使用是非常重要的。现有的从原子与分子水平研究MEMS构件的热学...
![MEMS光栅光调制器阵列及投影显示系统的光学分析和实验]()
论文摘要随着MEMS技术的不断发展,它已经成为促进传统产业提升、高新技术发展和进步的有效手段。面对着MEMS这一迅速发展的崭新领域,开展面向显示的MEMS光调制器的研究,进而开...
![MEMS探卡的设计及制备工艺研究]()
论文摘要晶圆级IC测试在经济生产中是非常必要的,通过早期放弃有缺陷的元件部分,可以避免不必要的封装成本,同时,晶圆测试数据还提供了早期整体制造过程状况的反馈,以便及早检测到偏差...
![新型高效微推进技术研究]()
论文摘要微小卫星组网编队飞行可以完成许多复杂昂贵的大卫星所无法完成的工作,其关键在于卫星编队的形成与保持。因此,对微小卫星间相对轨道位置的保持、高精度的姿态控制提出较高的要求。...
![自检测压电微传感器灵敏度优化及并行探测技术研究]()
论文摘要上世纪九十年代以来,锆钛酸铅（PZT）薄膜压电微悬臂梁在扫描探针显微技术中的应用,开启了压电微传感器在纳米探测领域的研究。由于PZT薄膜较高豹压电系数和机电耦合系数,基...
![微机电系统低温阳极键合用微晶玻璃的研究]()
论文摘要微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems,简称MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,复杂的微机电系统中,经...
![MEMS器件真空封装的研究]()
论文摘要MEMS器件不同于集成电路的典型特征是具有传感、致动、三维结构、功能多样性,使得MEMS封装技术更具挑战性,成为MEMS器件走向市场应用的一个技术瓶颈,其中真空封装技术...
![静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计]()
论文摘要微机电系统(MEMS)器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设...
![微型法—珀腔阵列光谱探测器研究]()
论文摘要光谱仪是应用光谱技术,对物质的化学组成及含量进行分析的重要仪器。随着科学技术的发展,部分小型光谱仪器由于其体积小、价格便宜、使用方便等特点已被广泛应用,但单芯片集成化微...
![支持MEMS系统级设计的仿真器研究]()
论文摘要MEMS已由功能单一的微器件向由微机械和接口电路等构成功能更加复杂的集成化微系统方向发展，这给MEMS设计者提出了越来越高的要求，也使得MEMS设计方法和设计工具研究成...
![MEMS同位素微电池能量转换建模及性能分析]()
论文摘要随着MEMS技术的不断发展和进步，人们希望将各种微器件与能源部件集成在一起，形成一个具有独立工作能力、能长时间稳定工作的微系统，这就需要研究与MEMS工艺兼容、易于集成...
![基于SOI的细胞电融合原理性芯片的研制与细胞排队及融合实验研究]()
论文摘要细胞融合也称细胞杂交、原生质体融合或体细胞杂交。其工作原理是通过介导和培养,在离体条件下用人工方法将两个或者多个细胞通过无性方式融合成单核或多核的杂合细胞。杂合细胞得到...
