![引信安全系统中高G值双稳态微加速度开关研究与设计]()
论文摘要微机电系统(MEMS)技术极大促进了引信安全系统微型化的发展。本文以用于引信后座保险机构中的高G值微加速度开关为研究对象。对高G值折叠梁式微加速度开关性能分析后，主要研...
![基于微加工技术的光开关及光互连结构研究]()
论文摘要本博士论文对基于非硅基微加工技术的光开关的设计分析与器件制作以及基于软光刻技术的微光学器件进行了研究。本文主体由两大部分构成。第一部分主要是基于非硅基微加工技术的光开关...
![DLC膜制备、微摩擦性能及其在MEMS中防粘附应用研究]()
论文摘要摩擦、磨损和粘附问题已经成为影响微机电系统（MicroelectromechanicalSystems,MEMS）性能和可靠性的主要因素。微构件材料表面改性被认为是改善...
![一种基于MEMS和细胞电场效应的细胞融合方法的研究]()
论文摘要细胞融合是细胞工程最基本的核心技术之一,是细胞工程研究的重要内容。细胞融合技术已逐步从动物细胞的融合扩展到植物细胞、微生物细胞,甚至真菌的融合,导致了细胞工程技术的新突...
![多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究]()
论文摘要微机电系统(MEMS)是涉及微电子学、微机械学、微流体学等多个学科领域内容的复杂系统,具有多学科、多物理域交叉耦合的特点,为其产品的设计带来了较大的难度。针对这一问题,...
![V型电热硅微致动器性能及其应用研究]()
论文摘要微致动器是微机电系统（MicroElectroMechanicalSystem,MEMS）的重要组成部分,用于构成其中的驱动或执行单元,担负着微系统内能量转换、运动和力...
![基于介电电泳原理的生物芯片的构建及其在细胞分析中的应用研究]()
论文摘要生物芯片技术由于具有分析快速、样品用量少、灵敏度高、易于集成和自动化等优点,自问世以来,就得到了人们的普遍关注。介电电泳芯片（DielectrophoresisChip...
![纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究]()
论文摘要传统的光学光刻由于受光波波长和数值孔径等因素的限制,难于制作线宽小于100nm的图案。纳米压印是通过压印使抗蚀剂薄膜产生物理变形以实现光刻胶的图形化,因此其分辨率不受光...
![生化检测用集成微机械悬臂梁谐振传感器技术]()
论文摘要谐振式微机械悬臂梁生物传感器，由于具有超高质量检测分辨率，能够实现单细胞检测，获得了广泛的研究。针对生化检测的需求，为进一步提高质量检测分辨率，本论文通过优化激励微机械...
![计算电磁学的无单元方法研究]()
论文摘要作为一种新型数值计算方法,无单元方法告别了对单元的依赖,将所有求解过程建立于一系列分布的节点上,既避免了单元划分的复杂过程,又消除了单元畸变等问题,受到了各学科数值计算...
![基于感应加热的MEMS封装技术与应用研究]()
论文摘要随着MEMS技术的发展,封装已成为阻碍MEMS商业化的主要技术瓶颈。从某种角度而言,封装不仅是一门制造技术（Manufacturingtechnology）,而且是一门...
![微结构的静电驱动特性研究]()
论文摘要静电力作为微机电系统（MEMS）中一种重要的驱动力,广泛应用于微镜、微泵、微马达、微陀螺、微钳、微谐振器、射频开关等微器件中。尽管一部分静电驱动MEMS产品已经从实验室...
![化学铸（镀）制备Ni-P合金微构件的研究]()
论文题目:化学铸（镀）制备Ni-P合金微构件的研究论文类型:硕士论文论文专业:材料加工工程作者:杨长勇导师:蒋建清关键词:微机电系统,化学铸镀,准技术,微金属齿轮文献来源:东南...
![MEMS中单晶硅的湿法异向腐蚀特性的研究]()
论文题目:MEMS中单晶硅的湿法异向腐蚀特性的研究论文类型:硕士论文论文专业:材料物理与化学作者:王涓导师:孙岳明关键词:微机电系统,微加工技术,单晶硅,各向异性,湿法腐蚀文献...
![微流控集成光波导光开关的研究]()
论文题目:微流控集成光波导光开关的研究论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:黄腾超导师:刘旭关键词:光开关,微流控,波导,微机电系统,热毛细效应,折射率匹配液文献来源:浙江...
![应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究]()
论文题目:应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:曹钟慧导师:吴兴坤关键词:光无源器件,光开关,可调光衰减器,微加工,微机电系统文...
![MEMS-DMs理论设计及工艺研究]()
论文题目:MEMS-DMs理论设计及工艺研究论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:余洪斌导师:陈海清关键词:微机电系统,自适应光学,可变形反射镜,体微加工技术,表面微加工技...
![微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法]()
论文题目:微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法论文类型:博士论文论文专业:测试计量技术及仪器作者:钟莹导师:张国雄关键词:微机电系统,梳齿,谐振器,激光多普勒,振动检测...
![田博文：新型半填充微气相色谱柱芯片研究论文]()
本文主要研究内容作者田博文,冯飞,赵斌,罗凡,杨雪蕾,李昕欣（2019）在《新型半填充微气相色谱柱芯片研究》一文中研究指出：基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微...
![郑忱煜：基于微机械加工工艺的声子晶体器件论文]()
本文主要研究内容作者郑忱煜,徐德辉,熊斌（2019）在《基于微机械加工工艺的声子晶体器件》一文中研究指出：声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带...
