微机电系统论文
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陈德勇：基于COMSOL的电化学地震检波器频率特性数值仿真模型论文
本文主要研究内容作者陈德勇,陈连宏,孙振源,李光磊,王军波,陈健（2019）在《基于COMSOL的电化学地震检波器频率特性数值仿真模型》一文中研究指出：提出了一种可以精确求解电...![于家福：MEMS偏航角速度传感器在旋转导弹稳定回路中的应用论文]()
于家福：MEMS偏航角速度传感器在旋转导弹稳定回路中的应用论文
本文主要研究内容作者于家福,邢朝洋,朱政强,孙鹏（2019）在《MEMS偏航角速度传感器在旋转导弹稳定回路中的应用》一文中研究指出：在旋转导弹稳定回路中,采用MEMS偏航角速度...![刘瑞：微机电系统器件电镀镍厚度均匀性的模拟与改进论文]()
刘瑞：微机电系统器件电镀镍厚度均匀性的模拟与改进论文
本文主要研究内容作者刘瑞,许文杰,袁妍妍（2019）在《微机电系统器件电镀镍厚度均匀性的模拟与改进》一文中研究指出：微机电系统(MEMS)金属基器件经常存在电镀镍层厚度不均匀的问题,采用大型有限元分析软件ANSYS对电镀过程的电场分布进行建模分析。探讨了片内辅助阴极的线宽及其与微结构单元的距离对电镀...
