微结构阵列论文

可微加工Al2O3基板式新型SnO2气体传感器的研制
论文摘要本论文课题属于气体传感器应用领域,课题源于国家863项目“环境检测微系统”,本课题是与中国电子科技集团第49研究所共同合作完成的。本文阐述了两种SnO2气体传感器的制备...