微机械加工工艺论文

ZnO压电薄膜压力传感器的研究
论文摘要随着科学技术的发展,对传感器功能的要求也越来越高。采用MEMS工艺制作的ZnO压电薄膜压力传感器,具有体积小、易集成、灵敏度和信噪比高等优点。但是复合微悬臂梁式传感器制...