微机械加速度计论文

论文摘要微机械加速度计作为一种用来测量加速度的重要的惯性器件,可以应用于倾斜角、惯性力、冲击及振动等惯性参数的测量,在汽车、消费电子、惯性制导等方面有着广泛的应用前景。电容检测...

论文摘要本论文在对传统栅电容结构的惯性传感器进行研究的基础上,提出了一种新型的梳状栅电容结构,并对基于此结构的加速度计和陀螺进行了研究。具体工作包括:加速度计和陀螺器件的结构设...

本文主要研究内容作者王帅民,孙国良,牛昊斌,李博洋,余才佳（2019）在《梳状电容式微加速度计温度性能优化》一文中研究指出：零偏温度漂移是影响高精度MEMS加速度计整体性能的关...