微机械技术论文

实现微型质子交换膜燃料电池的MEMS技术研究
论文摘要本文研究了制备微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)单体以及六单体串联的电池组的MEMS相关技术。该种电池组利用氢/空气自呼吸的工作机制,并且在采用MEMS结构形成技术...