微机械论文

论文摘要“微机械”的概念最早提出于上个世纪六十年代,以器件的特征尺寸或操控尺寸在微米量级为特征。直到八十年代,第一台静电驱动微马达被成功研制,微机械开始快速发展起来。迄今为止,...

论文摘要由于微机械陀螺具有成本低、体积小等特点,因此微机械陀螺广泛应用于消费类电子产品中。本文首先建立全对称微机械陀螺的系统模型,分析其调制信号的特点。接着分析了高阶低通滤波器...

论文题目:摩托车噪声检测及分析新技术的研究论文类型:博士论文论文专业:仪器科学与技术作者:徐道连导师:钟先信关键词:摩托车噪声,虚拟仪器,微机械,滤波传声器文献来源:重庆大学发...

论文题目:MEMS红外光声气体传感系统的研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:纪新明导师:黄宜平关键词:微机械,红外光声传感器,光声腔,电容式硅基微传声器文...