微机械陀螺仪论文

电磁式微机械陀螺结构设计与工艺研究
论文摘要微机械陀螺仪与传统陀螺仪相比具有体积小、易量产、成本低等特点,在汽车导航等民用领域以及惯性制导等军事用途中应用广泛。微机械陀螺仪的芯片加工是其核心,因此研究陀螺仪的芯片...
静电驱动压电检测微机械陀螺仪的力学分析
论文摘要微机械陀螺仪具有体积小、重量轻、成本低,可靠性高、可批量生产、便于与电子线路集成等优点,因此在军用和民用领域具有广阔的应用前景。在微机械陀螺研究中,研制出价格低廉、体积...