微机械悬臂梁论文

生化检测用集成微机械悬臂梁谐振传感器技术
论文摘要谐振式微机械悬臂梁生物传感器，由于具有超高质量检测分辨率，能够实现单细胞检测，获得了广泛的研究。针对生化检测的需求，为进一步提高质量检测分辨率，本论文通过优化激励微机械...