微开关论文

闭锁电热双稳态微开关研究
论文摘要MEMS继电器或开关类器件,具有线性度好、响应时间快、体积小以及便于批量制造等一系列优点。鉴于此,本文提出了一个利用双层膜效应实现电热驱动,利用悬梁交错锁定的闭锁机构实...
悬臂梁式微开关的动态分析研究
论文摘要静电力作为微电子机械系统(MEMS)中一种重要的驱动力,广泛应用于微镜、微钳、微开关等微器件中。尽管部分静电驱动MEMS产品已经从实验室走向商业化,但相关设计理论和设计...