微颗粒论文

微颗粒表面磁控溅射镀膜研究
论文摘要在粉体颗粒表面镀薄膜可显著增强其应用功效。磁控溅射沉积作为一种高质量的镀膜方法,也逐渐被应用于粉体颗粒表面镀膜。本论文根据磁控溅射及粉体颗粒的特点,设计并研制了一套微颗...