微孔阵列式节流器论文

气浮支承微孔阵列式节流器的性能研究
论文摘要气浮支承由于其高精度、低摩擦等优点在精微加工、精密测量等领域得到了广泛应用，已经成为超精密运动机构最重要的基础元件之一。随着超精密运动机构定位精度由微米量级向纳米量级的...