微梁免疫传感论文

微悬臂梁免疫传感技术研究
论文摘要微悬臂梁生化传感技术是一种新型分析手段,涉及MEMS(微机电系统)、材料、生物化学及力学等交叉学科的研究。微梁作为一种最简单的MEMS器件,通过应力变形可以对发生在其表...