微力传感器论文

面向细胞注射的力/位混合控制系统的研究与开发
论文摘要细胞显微注射是一种在显微镜视野内,机器人末端执行器的微注射针通过机械方式刺破细胞膜,进入指定注射位置,将基因等物质注入到细胞的技术,是生产转基因动物的重要手段。被注射细...
驱动感知一体化的混合式微力传感器设计
论文摘要压电式微力传感器的低能耗、高灵敏度、易于与压电微执行器集成等优点使其具有良好的应用前景。压电式微力传感器的研究尚处于起步阶段,本文以基于PVDF薄膜的微力传感器为研究对...
压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究
论文摘要压电式传感器和执行器具有结构简单、响应速度快、高频适用性强、驱动和处理电路简单等特点,在超声检测、精密位移和定位、声学及力学量的检测等方面已经得到了广泛的应用。压电双晶...
基于双压电PZT薄膜单元的悬臂梁式微力传感器研究
论文摘要MEMS技术的发展为基于压电PZT薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器研究带来了新的机遇。压电式微力传感器的低能耗、高灵敏度、易于与压电微执行器集成等优点使其具有良好...