微力实验系统论文

小尺度材料力学性能测试系统的设计及实验
论文摘要随着微电子机械系统（MicroElectroMechanicalSystem,MEMS）技术的兴起和发展,MEMS器件已大量应用于信息、能源、交通以及国防等领域。由于M...