微流体系统论文

以水银为介质的微加速度开关理论分析
论文摘要MEMS系统的飞速发展让人们对微尺度领域的研究产生了极大的兴趣。微电子机械系统（MicroElectronicMechanicalSystem）采用与集成电路技术兼容的...