微马达论文

基于电水动力驱动的微马达的基础研究
论文摘要微机械电子系统（MEMS）是集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微型系统,其特点可归结为体积小、质量轻、功耗低。微马达是微机械电子系统重要...