微纳光纤环形谐振腔论文

微纳光纤环MOEMS加速度传感器理论与应用研究
论文摘要本文提出了一种基于微纳光纤环形谐振腔的MOEMS加速度传感器结构。微纳光纤是一种介观量级的光波导线结构,它既不同于普通光纤,也不同于集成光波导,这种微纳光纤是利用大比例...