微纳气体流动论文

微纳通道中动量与能量协调系数的分子动力学研究
论文摘要随着微纳尺度加工技术的飞速发展,MEMS和NEMS器件中的流动与传热问题备受关注。在微纳通道中,气体流动表现出明显的稀薄效应和壁面效应,影响气体与壁面的动量与能量交换。...