微纳特征结构论文

微纳特征结构评价与表面表征方法研究
论文摘要随着超精密加工技术加工精度的不断提高和微电子器件、MEMS制造尺寸的不断减小,纳米加工技术应时而生。计量技术与工业生产技术从来都是互相促进、相互提高的,纳米计量技术也因...