微扑翼飞行器论文

微板机电耦合动力学研究
论文摘要微型机电系统是将微结构的传感、致动和控制集于一体的智能微型装置或系统。微板结构是微型机电系统的典型结构之一,机电耦合问题也是微机电系统设计中不可回避的多物理场耦合问题,...