微桥结构论文

氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究
论文摘要自上世纪九十年代以来,非致冷红外成像技术取得了重大突破,引发了红外技术的第三次革命。与前两代致冷型光子红外探测器相比,第三代非致冷热敏红外探测器由于在室温下工作,无需制...