尾气分离论文

多晶硅生产过程的模拟分析
论文摘要目前世界上多晶硅的生产主要采用改良西门子法。而我国前几年基本上还是采用传统的西门子法,最近采用我国自己改良的技术与引进俄罗斯的多晶硅生产技术相结合的生产方法。目前国内外...