微器件论文

应用于聚合物微器件封装的超声波键合系统
论文摘要随着MEMS技术的发展,聚合物材料被广泛的运用于微型器件制造。聚合物材料具有生物相容性的优点,而且聚合物种类繁多,价格低廉。聚合物微器件通过微注塑等方法批量生产。目前聚...
激光微加工微结构体及超薄型Pt膜温度传感器的研究
论文摘要随着MEMS技术的飞速发展,具有高灵敏度、高稳定性、可靠性好、在微小空间具有检测能力的微传感器及相关微结构体已成为当今微电子技术领域中的研究热点。本文采用激光微加工技术...
微结构的静电驱动特性研究
论文摘要静电力作为微机电系统（MEMS）中一种重要的驱动力,广泛应用于微镜、微泵、微马达、微陀螺、微钳、微谐振器、射频开关等微器件中。尽管一部分静电驱动MEMS产品已经从实验室...
结构全寿命安全保障体系及集成研究
论文题目:结构全寿命安全保障体系及集成研究论文类型:博士论文论文专业:工程力学作者:冯谦导师:郭万林关键词:全寿命安全保障,结构寿命指针,总线,时间触发,端口扩展,全机试验,微...