微气体传感器论文

基于微热板式气体传感器的混合气体检测及分析
论文摘要微热板式气体传感器具有尺寸小、功耗低、易集成等优点,成为MEMS领域的一个重要研究成果。可惜的是目前其选择性差、稳定性差的缺点,限制了该成果的实用化和产业化。本文主要研...