微气压传感器论文

微热板式微气压传感器电热力耦合分析及测试
论文摘要随着微机械加工技术和MEMS技术的快速发展,微型化成为传感器发展的重要方向。采用与标准IC工艺相兼容技术制作而成的微热板式微气压传感器由于具有体积小、功耗低、量程宽、热...