微驱动论文

圆光栅回转式压电微角度执行器的研究
论文摘要微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,随着科学技术的发展,需要高精度、高分辨力、能够灵活控制的微位移驱动及检测系统,用以直接...
薄壁微结构研抛装置关键技术研究
论文摘要精密制造业的发展极大地提高了人们的生活水平,从而改变了我们的生活,当今精密制造业发展的一个重要的方向就是产品的微小型化,具有微结构的微小零件拥有许多的特殊功能,包括导光...
大行程压电微动台驱动控制系统的研究
论文题目:大行程压电微动台驱动控制系统的研究论文类型:硕士论文论文专业:测试计量技术及仪器作者:温丽梅导师:赵美蓉关键词:压电陶瓷,驱动电源,微驱动,微定位,尺蠖运动文献来源:...