微驱动器论文

论文题目:基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制论文类型:博士论文论文专业:材料学作者:邱成军导师:曹茂盛关键词:微驱动器,薄膜,扩散,收缩管文献来源:哈尔滨工程大学发表年度:...

本文主要研究内容作者靳凡,岳动华,赵丰鹏,沈展鹏,史平安（2019）在《He离子辐照对PZT陶瓷和微驱动器力电耦合性能的影响》一文中研究指出：为研究He离子辐照效应对压电微驱动...