微折射结构论文

基于硅的湿法腐蚀特性仿真与制作微折射结构
论文摘要硅在氢氧化钾溶液中呈各向异性腐蚀特性,利用此特性可以制作多种非球面、非对称的微光学折射结构。通过计算机对此特性进行模拟与仿真,可以便捷高效地输出各工艺阶段所需的参数与数...