微双精度驱动台论文

基于显微视觉的微操作系统及其伺服控制研究
论文摘要由于MEMS（微机电系统）、生物医学工程、精密光学工程和超精密加工等领域的快速发展,迫切需要能够实现微米级、甚至纳米级精密定位系统,各种大行程精密定位系统应运而生。上世...