微位移测量论文

用于微位移测量的石英晶体电容传感器
论文摘要微位移测距广泛应用于多个领域,如精密测量,精密定位,微细加工,微电子制造等。用于微位移测量的传感器包括电感式,光学式,电容式等,均有各自的优缺点。其中,电容微位移传感器...
李家奇：基于FPGA的激光位移测量系统设计论文
本文主要研究内容作者李家奇,李静（2019）在《基于FPGA的激光位移测量系统设计》一文中研究指出：采用激光三角法原理,设计了一种基于FPGA(Field-Programmab...