微位移放大机构论文

压电双晶片型微位移放大机构研究
论文摘要随着科学技术的发展,精密和超精密驱动机构在精密制造、超精密加工、生物工程、医疗机械和芯片制造等领域应用越来越广泛,新型的驱动方式正逐步成为研究的主流。由于压电驱动器具有...