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基于压电驱动的摩擦式微位移工作台的研究
论文摘要精密制造测量和微操作技术日渐成为当今先进制造业的重要支撑技术,精密定位技术作为关键技术之一,在近代尖端工业生产和科学研究占有极其重要的地位,左右着各领域精密技术的发展。...
磁致伸缩材料在微动工作台中的应用
论文摘要以Tb-Dy-Fe为代表的稀土超磁致伸缩材料是一种有广泛发展前景的功能材料,它具有磁致伸缩大、响应速度快、磁—机械耦合系数大、磁滞小等优点,是理想的微位移驱动材料。结合...