微位移机构论文

光栅拼接装置微位移机构的研究
论文摘要衍射光栅是一种精密的分光元件,是各种光谱仪器的核心器件。目前,天文物理学以及高能激光脉冲等研究领域所需的光栅已达到了米量级。因此,大口径光栅的制备十分迫切,大口径光栅的...