微位移论文

表面应力敏感微梁的设计制作及双光栅干涉测量方法
论文摘要生化检测技术在疾病诊断、食品安全、环境监测、国防和反恐等方面有广泛的应用需求。基于微梁的阵列传感器是生化检测向微型化、集成化、高通量、多目标、高灵敏度检测方向发展的一种...
基于逆磁致效应的超磁致伸缩微驱动方法研究
论文摘要精密加工作为发展尖端科技的基础,也是衡量一个国家科学技术水平的重要标志,而精密微驱动技术是实现精密加工的关键。超磁致伸缩微位移执行器(GMA)以位移范围大、输出力大、响...
纳米定位微位移工作台的控制技术研究
论文摘要随着微机电系统的快速发展，需要不断研究能够产生各种精细图形和微结构的加工技术。电子束曝光技术是目前公认的最好的高分辨率图形制作技术，主要用于0.1～0.5μm的超微细加...