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宋晓佳:微下拉法晶体生长炉自动控制系统的研究论文
本文主要研究内容作者宋晓佳,何晔,屈菁菁,丁雨憧,付昌禄,陈川贵(2019)在《微下拉法晶体生长炉自动控制系统的研究》一文中研究指出:该文研究了微下拉法晶体生长炉晶体生长的稳定...