微小尺度传感器论文

电容成像技术在热物理量测量中的应用研究
论文摘要电容层析成像技术是近年来发展起来的一项基于电容敏感原理的过程成像技术,该技术具有非辐射、非侵入、响应速度快、结构简单、成本低、可获取二维/三维过程参数信息等优点,是一项...