微小电容论文

气液两相流气相速度的测量研究
论文摘要气液两相流普遍存在于工业生产和人们的日常生活中,其流动参数测量对于工业生产过程的经济、安全、高效运行具有重要意义,同时对气液两相流的理论研究也十分有益。但气液两相流的流...
微小电容检测系统的研究与实现
论文摘要MEMS技术近年来的快速发展,微机械电容式传感器的广泛使用,及微机械集成电路的研究问世,其微小电容及微小变化量的检测研究变得非常重要,本论文主要对微小电容检测原理及方法...