微细电铸论文

超临界微细电铸过程数值模拟及实验研究
论文摘要将超临界特性与电沉积技术有机结合,采用超临界CO2电沉积方法制备高性能纳米晶粒沉积层,是制备纳米材料(铸层)的一种新方法,为微细特种加工领域提供新的技术途径。本文在国家...
分层电铸加工系统开发及其基础试验
论文摘要微电铸技术是近年来发展起来的一种微细加工技术。该项技术是在继承传统电铸优点的基础上,与现代集成电路工艺有机结合而形成的,是制作MEMS金属器件或结构的有效方法。而EFA...
屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究
论文摘要电铸是利用金属离子在阴极上沉积来制造金属制品的增材加工过程,其加工过程是以离子的形式进行的。由于金属离子的尺寸非常微小,小于纳米尺度,因此电铸技术相对于其它很多微加工方...
UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究
论文摘要MEMS（MicroElectromechanicalSystem）技术作为新兴技术,受到学术界、产业界和政府部门的极大重视,已经在信息、精密机械、汽车、航空航天、生物...