微细加工技术论文
集成Ag/AgCl参比电极的多参数水质监测阵列传感器的研制
论文摘要水体污染已被认为是人类生存环境主要威胁之一,对其进行监测和控制势在必行。氧化还原电位、pH、电导率、温度等作为反应水质好坏的重要参数,在环境水质检测中是必须要求的。目前...MEMS工艺优化及其应用
论文摘要MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。MEMS标准工艺的研究对...软X射线聚焦波带片研究
论文摘要软X射线显微镜由于其分辨率高、能在“水窗”波段对水中含碳物质形成天然的衬度、射线能量可与许多元素的吸收边对应等特点,在生命科学、环境科学和物理学等领域中有着广泛的应用。...