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氧化物介质多层膜的生长与电学性能的研究
论文摘要本文介绍了利用脉冲激光分子束外延技术(L-MBE)生长LaAlO3/BaTiO3(LAO/BTO)超晶格薄膜,并首次发现其具有比相同工艺条件下生长的SrTiO3/BaT...